大行程高精懷抱測顯微鏡(LCD測定機)
連系國表裏邃密精美之關頭零組件所推出的，大行程之影象量測系統中，以搭載出色的 NIKON、OLYMPUS或NAVITAR光學系統，搭配不同量測行程500×400mm、750×550mm、50×700mm、1200×720mm、1400×1000mm及的精密載物台，其總精度可達4.5+6L/1000(um)，以因應市場的需求，產品亦可因客戶分歧的量測需求，提供不同的上、下光源模組，乃至客製化的產品批改來合適客戶的量測運用需求。
機台特征
‧ 高精度龍門式設計：龍門型機台為一高精度之量測系統，花崗石上架一龍
門型( 雙柱 )之機構；雙柱上架一 X 軸橫樑，使其成為不亂性高之龍門式
量測機台。
‧ 二段式避震設計：二段式避震，由空氣式避震器共同撓性避震器，高精度、
高倍率之顯微鏡情況工作時，能到達最好之防震結果。
‧ 精密導螺桿傳動設計：傳動方式為細密導螺桿搭配伺服系統及光學尺而成，
具有絕對之定位性及再現性，而量測精度均依光學尺為校正準則。
‧ 三軸緊密滑軌設計：採用高嚴密級預壓式線性滑軌，此軌道是採用(S 55C)
鋼鐵所製，經過熱處置懲罰後，硬度可達 HRC60 以上。移動輕順無黏著現象且
定位精確。
‧ 三軸均加裝微移動處置器設計： X 、 Y 、 Z 三軸均加裝微移動處置懲罰器，可
做小規模周詳位置定位檢查，並將微移動處置器置於系統前方人員易操作處
方便操作，最小移動距離 1um。
‧ 三種操控體例選擇：合營各類尺寸行程及利用特征，有手動、電動、 CNC
三種控制方式可供選擇。
‧ 工作玻璃平台真空吸附設計：應用吸真空破真空吸附量測工件，使其工件量
測時不移動，並合營定位塊更精準定位。
SPEC.
機型種類：VM -5040U / VM -7555U / VM -9570U / VM -12072U / VM -140100U
X 軸固定體例：龍門式
xyz 軸行程 mm：X:500Y:400Z:150 / X:750Y:550Z:150 / X:950Y:700Z:150 / X:1200Y:720Z:150 / X:1400Y:1000Z:150 /
XYZ 軸行程 in：X:19.6Y:5.7Z:5.9 / X:29.5Y:21.5Z:5.9 / X:37.4Y:27.5Z:5.9 / X:47.2Y:28.3Z:5.9 / X:55.1Y:39.3Z:5.9
節制方式：手動 Manual / 電動 NC / 主動 CNC
光學系統選擇：Nikon/Navita/ Olympus
連線方式：In-Line / Off-Line
機台精度：高精度機型 3.5+ 6L /1000(um)
±0.5K,L: 長度單位 mm：一般精度精型 4.5+ 6L /1000(um)
反複精度：2ｕm
量測軟體：AIM 2000/ AIM 3000 /AIM CNC
電力需求：3PH-AC220V 60HZ -20A
機台重量：1000kg / 1300kg / 1800kg / 4000kg / 4600kg
工作平台載重：25kg
TFT-LCD產業合適之尺寸：22″ / 32″ / 42″ / 47″ / 60″
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文章來自: http://blog.sina.com.tw/apisc/article.php?entryid=578591
